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進口微波去膠機*款適用于遠程控制的設備
進口微波去膠機*款適用于遠程控制的設備
更新時間：2015-10-28
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進口微波去膠機是石英腔的微波等離子系統(tǒng)，可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理，也可以作為單片處理，系統(tǒng)為計算機全自動控制的系統(tǒng)。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除；干法刻蝕工藝的前處理或后處理；MEMS制造中的犧牲層去除。
進口微波去膠機系統(tǒng)控制：
PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠程控制)
10.4”觸摸屏、圖形用戶界面
Windows Office兼容
存儲處理數據和錯誤信息，處理數據輸出
工藝參數圖形曲線的 監(jiān)測
自動或手動操作
進口微波去膠機工藝參數：
材質：石英玻璃
容積：21公升
腔體尺寸：直徑240mm，深度460mm
腔體后部：鋁
腔門：鋁質材料制作，抽拉式支撐架跟前門相連，便于手動放片；
氣體分布：前門擴散
觀察視窗：防紫外及微波
支撐架：鋁質材料，
真空連接：DN40 ISO-KF
壓力控制：Pirani，1-100Pa
真空泵：推薦35m3/h
真空閥：電子氣動閥，DN40 ISO-KF
真空密封：硅樹脂
氣體供應：1路數字顯示的質量流量器控制
氣體通道：3路數字MFC，裝有電磁閥，1000/500/200sccm（N2校準），1/4" Swagelok接頭
卸壓：電磁閥，1/4" Swagelok接頭
功率：2.45GHz，50-1200W連續(xù)可調
耦合：微波天線，鋁質諧振器，腔體內無電極
進口微波去膠機選配：
真空泵 ： 雙級真空泵，如，抽吸能力大40m3/h
氣路：額外的數字顯示質量流量控制器
旋轉臺：鋁，直徑200mm,速度可調
ECR(電子回旋共振)：鋁、支架配置永磁體
18916157635
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